纯净的SF6气体是一种无色、无味、无毒和不燃的惰性气体。温度在1800C以下时它与电器设备材料的相容性和氮气相似。纯SF6气体在温度升高到5000C时也不会分解;但与金属材料共存时，则在2000C时就有可能发生微量分解。电弧高温会使SF6气体分解，此外火花放电和电晕也会使SF6分解，SF6**的优点是它不含碳因此不会分解出影响绝缘性能的碳粒子，且大部分气态分解物的绝缘性能与SF6相当，所以不会使气体绝缘性能下降，但SF6气体分解物有毒，主要是SF4和SF2，以及少量的S2、F2、S、F等，此类分解产物中往往含有剧毒，即便是微量，也会对人和动物造成危害。当使用以SF6气体为绝缘和灭狐介质的室内开关在使用过程中发生泄漏时，由于SF6比空气重，易于在低处聚集，它能置换空气中的氧气而引起窒息。所以使用SF6的区域或参与SF6设备的有关工作，必须按规程(GB/T8905-1996)8.5条执行(在SF6配电装置室低位区应安装能报警的氧量仪或SF6气体泄漏报警仪，在工作人员入口处也要装设显示器，这些仪器应定期试验，保证完好)。因此，研制GIS开关室SF6气体泄漏环境智能化监控系统应用于工业现场已经变得非常重要。